Plavo/zelena LED epitaksija tvrtke semicera nudi vrhunska rješenja za proizvodnju LED-a visokih performansi. Dizajnirana za podršku naprednim epitaksijalnim procesima rasta, semicerina plavo/zelena LED epitaksija tehnologija poboljšava učinkovitost i preciznost u proizvodnji plavih i zelenih LED dioda, kritičnih za razne optoelektroničke primjene. Korištenjem najsuvremenije SiC epitaksije i SiC epitaksije, ovo rješenje osigurava izvrsnu kvalitetu i trajnost.
U procesu proizvodnje, MOCVD Susceptor igra ključnu ulogu, zajedno s komponentama kao što su PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier i RTP Carrier, koji optimiziraju epitaksijalno okruženje rasta. Semicerina plavo/zelena LED epitaksija dizajnirana je za pružanje stabilne podrške za LED epitaksijalni susceptor, bačvasti susceptor i monokristalni silicij, osiguravajući proizvodnju dosljednih, visokokvalitetnih rezultata.
Ovaj postupak epitaksije ključan je za stvaranje fotonaponskih dijelova i podržava aplikacije kao što je epitaksija GaN na SiC, poboljšavajući ukupnu učinkovitost poluvodiča. Bilo da se radi o konfiguraciji Pancake Susceptora ili se koriste u drugim naprednim postavkama, semicerina plavo/zelena LED epitaksija rješenja nude pouzdanu izvedbu, pomažući proizvođačima da zadovolje sve veću potražnju za visokokvalitetnim LED komponentama.
Glavne karakteristike:
1. Otpornost na oksidaciju pri visokim temperaturama:
otpornost na oksidaciju je još uvijek vrlo dobra kada je temperatura visoka do 1600 C.
2. Visoka čistoća: izrađeno kemijskim taloženjem iz pare pod uvjetima kloriranja na visokoj temperaturi.
3. Otpornost na eroziju: visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
4. Otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.
Glavne specifikacijeCVD-SIC premaz
| SiC-CVD svojstva | ||
| Kristalna struktura | FCC β faza | |
| Gustoća | g/cm³ | 3.21 |
| Tvrdoća | Tvrdoća po Vickersu | 2500 |
| Veličina zrna | μm | 2~10 |
| Kemijska čistoća | % | 99.99995 |
| Toplinski kapacitet | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Temperatura sublimacije | ℃ | 2700 |
| Fleksuralna snaga | MPa (RT 4 točke) | 415 |
| Youngov modul | Gpa (savijanje od 4 točke, 1300 ℃) | 430 |
| Toplinska ekspanzija (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Toplinska vodljivost | (W/mK) | 300 |
