Bulk CVD SiC prsten

Kratki opis:

Bulk CVD SiC prstenovi koriste plin izvor silicija (kao što je silicij hidrid) i plin izvor ugljika (kao što je metan) kao sirovine, reagirajući na visokoj temperaturi da talože SiC materijale velike veličine na podlogu ili kalup. Ovaj proces omogućuje ravnomjerno taloženje SiC-a na velikom području, tvoreći jaku i postojanu prstenastu strukturu.

 


Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Zašto je prsten za jetkanje od silicij karbida?

RTPCVD SiC prstenovinaširoko se koriste u industrijskim i znanstvenim područjima u visokotemperaturnim i korozivnim okruženjima. Ima važnu ulogu u proizvodnji poluvodiča, optoelektronici, preciznim strojevima i kemijskoj industriji. Specifične primjene uključuju:

1. Proizvodnja poluvodiča:RTP CVD SiC prstenovimože se koristiti za grijanje i hlađenje poluvodičke opreme, osiguravajući stabilnu kontrolu temperature i osiguravajući točnost i dosljednost procesa.

2. Optoelektronika: Zbog izvrsne toplinske vodljivosti i otpornosti na visoke temperature, RTPCVD SiC prstenovimogu se koristiti kao potpora i materijali za raspršivanje topline za lasere, optičku komunikacijsku opremu i optičke komponente.

3. Precizni strojevi: RTP CVD SiC prstenovi mogu se koristiti za precizne instrumente i opremu u visokotemperaturnim i korozivnim okruženjima, kao što su visokotemperaturne peći, vakuumski uređaji i kemijski reaktori.

4. Kemijska industrija: Zbog svoje otpornosti na koroziju i kemijske stabilnosti, RTP CVD SiC prstenovi mogu se koristiti u spremnicima, cijevima i reaktorima u kemijskim reakcijama i katalitičkim procesima.

 

Epi sustav

Epi sustav

RTP sustav

RTP sustav

CVD sustav

CVD sustav

Izvedba proizvoda:

1. Upoznajte proces ispod 28nm

2. Super otpornost na koroziju

3. Super čista izvedba

4. Super tvrdoća

5. Visoka gustoća

6. Otpornost na visoke temperature

7. Otpornost na habanje

oprema za proizvodnju kvarca 4

Primjena proizvoda:

Materijali od silicijevog karbida imaju karakteristike visoke tvrdoće, otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju i stabilnosti na visoke temperature. Proizvodi s izvrsnim sveobuhvatnim performansama naširoko se koriste u procesima suhog jetkanja i TF/difuzije.

Izvedba proizvoda:

1. Upoznajte proces ispod 28nm

2. Super otpornost na koroziju

3. Super čista izvedba

4. Super tvrdoća

5. Visoka gustoća

6. Otpornost na visoke temperature

7. Otpornost na habanje

微信截图_20241018182920
微信截图_20241018182909

Razvoj kompozitnog procesa:

Grafit + Sic premaz

Čvrsti CvD sic

Sinterirani SiC+CVD

SicSinterirani SiC

Razvoj više vrsta proizvoda:

Prsten

Stol

Susceptor

Glava tuša

Semicera Radno mjesto
Semicera radno mjesto 2
Ware House Semicera
Oprema stroj
CNN obrada, kemijsko čišćenje, CVD premaz
Naša usluga

  • Prethodna:
  • Sljedeći: