Uvod u prevlaku od silicij karbida
Naš premaz od silicij karbida (SiC) za kemijsko taloženje parom (CVD) vrlo je izdržljiv i otporan na habanje, idealan za okruženja koja zahtijevaju visoku otpornost na koroziju i toplinu.Silicij karbidni premaznanosi se u tankim slojevima na različite podloge kroz CVD proces, nudeći vrhunske karakteristike.
Ključne značajke
● -Iznimna čistoća: Može se pohvaliti ultra čistim sastavom99,99995%, našSiC premazminimizira rizike kontaminacije u osjetljivim operacijama poluvodiča.
● - Vrhunska otpornost: Pokazuje izvrsnu otpornost na habanje i koroziju, što ga čini savršenim za zahtjevne kemijske i plazma postavke.
● -Visoka toplinska vodljivost: Osigurava pouzdan rad pod ekstremnim temperaturama zbog svojih izvanrednih toplinskih svojstava.
● - Dimenzijska stabilnost: Održava strukturni integritet u širokom rasponu temperatura, zahvaljujući niskom koeficijentu toplinskog širenja.
● -Povećana tvrdoća: S ocjenom tvrdoće od40 GPa, naš SiC premaz podnosi značajan udar i abraziju.
● -Glatka površina: Pruža završetak poput zrcala, smanjujući stvaranje čestica i povećavajući radnu učinkovitost.
Prijave
Semicera SiC prevlakekoriste se u različitim fazama proizvodnje poluvodiča, uključujući:
● -Izrada LED čipova
● -Proizvodnja polisilicija
● -Rast kristala poluvodiča
● -Silicij i SiC epitaksija
● -Toplinska oksidacija i difuzija (TO&D)
Isporučujemo komponente presvučene SiC-om izrađene od izostatičnog grafita visoke čvrstoće, ugljika ojačanog ugljičnim vlaknima i 4N rekristaliziranog silicij karbida, prilagođene za reaktore s fluidiziranim slojem,STC-TCS pretvarači, jedinični reflektori CZ, SiC pločica, SiC pločica, SiC pločica i nosači pločica koji se koriste u PECVD, silikonskoj epitaksiji, MOCVD procesima.
Prednosti
● -Produženi vijek trajanja: Značajno smanjuje vrijeme zastoja opreme i troškove održavanja, povećavajući ukupnu učinkovitost proizvodnje.
● -Poboljšana kvaliteta: Postiže površine visoke čistoće potrebne za obradu poluvodiča, čime se povećava kvaliteta proizvoda.
● -Povećana učinkovitost: Optimizira toplinske i CVD procese, što rezultira kraćim vremenima ciklusa i većim prinosima.
Tehničke specifikacije
● -Struktura: FCC β faza polikristalna, uglavnom (111)orijentirana
● -Gustoća: 3,21 g/cm³
● -Tvrdoća: 2500 Vickesova tvrdoća (500g opterećenja)
● -Žilavost loma: 3,0 MPa·m1/2
● -Koeficijent toplinskog širenja (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Modul elastičnosti(1300 ℃):435 GPa
● -Tipična debljina filma:100 µm
● -Hrapavost površine:2-10 (prikaz, stručni). µm
Podaci o čistoći (mjereno masenom spektroskopijom tinjajućeg pražnjenja)
| Element | ppm | Element | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
