Grafitni susceptor s premazom od silicij karbida, 6 komada nosača vafera od 6 inča

Grafitni susceptor saSilicij karbidni premaz, 6 komada6 inčni nosač vaflaod semicera nudi iznimnu izdržljivost i toplinsku vodljivost za visokoučinkovite aplikacije epitaksijalnog rasta. Semicera je specijalizirana za napredne suceptore dizajnirane za poboljšanje procesa kao što suSi EpitaksijaiSiC epitaksija, osiguravajući pouzdan rad u zahtjevnim poluvodičkim okruženjima.

Ovaj suceptor je posebno dizajniran za korištenje saMOCVD susceptorsustava i nudi kompatibilnost s različitim nosačima kao što su PSS nosač za jetkanje, ICP nosač za jetkanje i RTP nosač. Idealan je za proizvodnju monokristalnog silicija i postave LED epitaksijalnih susceptora, nudeći svestranost u različitim konfiguracijama, uključujući dizajn bačvastih i palačinkastih susceptora.

Grafitni susceptor s premazom od silicij karbida također podržava primjene u sektoru solarne energije kroz integraciju s fotonaponskim dijelovima i ističe se u postupcima epitaksije GaN na SiC. Njegov kapacitet nosača pločica od 6 inča osigurava visoku propusnost, što ga čini bitnim alatom za proizvođače poluvodičke i fotonaponske industrije.