Izostatski PECVD grafitni čamac

Izostatički PECVD grafitni čamac Istaknuta slika

Kratki opis:

Izostatski PECVD grafitni čamac naširoko se koristi u raznim vezama proizvodnje poluvodiča, kao što je taloženje polisilikonskog filma, taloženje oksidnog filma, taloženje nitridnog filma, itd. Njegove izvrsne performanse čine ga idealnim nosačem pločica u PECVD procesu.

Pošaljite nam e-poštu

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

SEMICERA izostatični PECVD grafitni čamac je grafitni proizvod visoke čistoće i visoke gustoće dizajniran za potporu pločica u PECVD (plazma pojačano kemijsko taloženje iz pare) procesu. SEMICERA koristi naprednu tehnologiju izostatičkog prešanja kako bi osigurala da grafitni čamac ima izvrsnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju, dimenzijsku stabilnost i dobru toplinsku vodljivost, što je neizostavan potrošni materijal u procesu proizvodnje poluvodiča.

SEMICERA izostatski PECVD grafitni čamac ima sljedeće prednosti:

▪ Visoka čistoća: Grafitni materijal je visoke čistoće i niskog sadržaja nečistoća kako bi se izbjegla kontaminacija površine ploče.

▪ Visoka gustoća: Visoka gustoća, visoka mehanička čvrstoća, može izdržati visoku temperaturu i visoki vakuum.

▪ Dobra dimenzionalna stabilnost: Mala dimenzionalna promjena na visokoj temperaturi kako bi se osigurala stabilnost procesa.

▪ Izvrsna toplinska vodljivost: učinkovito prenosi toplinu kako bi se spriječilo pregrijavanje pločice.

▪ Jaka otpornost na koroziju: Sposobnost otpornosti na eroziju različitim korozivnim plinovima i plazmom.

Parametar izvedbe	semicera	SGL R6510	Parametar izvedbe
Nasipna gustoća (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Čvrstoća na savijanje (MPa)	63	60	49
Čvrstoća na pritisak (MPa)	135	130	103
Tvrdoća po Shoru (HS)	70	64	60
Koeficijent toplinske ekspanzije（10-6/K）	85	105	130
Koeficijent toplinske ekspanzije（10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Otpornost (μΩm)	11-13 (prikaz, stručni).	13	10

Prednosti odabira nas:
▪ Odabir materijala: grafitni materijali visoke čistoće koriste se kako bi se osigurala kvaliteta proizvoda.
▪ Tehnologija prerade: Izostatičko prešanje koristi se kako bi se osigurala gustoća i ujednačenost proizvoda.
▪ Prilagodba veličine: Grafitni čamci različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi prema potrebama kupaca.
▪ Površinska obrada: Dostupne su različite metode površinske obrade, kao što je oblaganje silicijevim karbidom, borovim nitridom itd., kako bi se zadovoljili različiti zahtjevi procesa.