Primjena silicij-karbid keramike u području poluvodiča

Poluvodiči:

Industrija poluvodiča slijedi industrijski zakon "jedna generacija tehnologije, jedna generacija procesa i jedna generacija opreme", a nadogradnja i iteracija poluvodičke opreme uvelike ovisi o tehnološkom napretku preciznih dijelova. Među njima, precizni keramički dijelovi su najreprezentativniji poluvodički materijali za precizne dijelove, koji imaju važnu primjenu u nizu glavnih veza u proizvodnji poluvodiča kao što su kemijsko taloženje iz pare, fizičko taloženje iz pare, ionska implantacija i jetkanje. Kao što su ležajevi, vodilice, obloge, elektrostatičke stezne glave, mehaničke ruke za rukovanje, itd. Posebno unutar šupljine opreme, igra ulogu podrške, zaštite i skretanja.

640

Od 2023. Nizozemska i Japan također su sukcesivno izdali nove propise ili vanjskotrgovinske uredbe o kontroli, dodajući propise o izvoznim dozvolama za poluvodičku opremu uključujući strojeve za litografiju, a trend antiglobalizacije poluvodiča postupno se pojavio. Važnost neovisne kontrole opskrbnog lanca sve više dolazi do izražaja. Suočene sa zahtjevom za lokalizacijom dijelova poluvodičke opreme, domaće tvrtke aktivno promiču industrijski razvoj. Zhongci Electronics je realizirao lokalizaciju visokotehnoloških preciznih dijelova kao što su grijaće ploče i elektrostatske stezne glave, rješavajući problem "uskog grla" domaće industrije poluvodičke opreme; Dezhi New Materials, vodeći domaći dobavljač grafitnih baza presvučenih SiC-om i prstenova za jetkanje SiC-a, uspješno je dovršio financiranje od 100 milijuna juana, itd....
Visoko vodljive keramičke podloge od silicijevog nitrida:

Keramičke podloge od silicijevog nitrida uglavnom se koriste u pogonskim jedinicama, poluvodičkim uređajima i pretvaračima čistih električnih vozila (EV) i hibridnih električnih vozila (HEV), te imaju ogroman tržišni potencijal i izglede za primjenu.

640 (1)

Trenutačno, keramički supstratni materijali visoke toplinske vodljivosti od silicijevog nitrida za komercijalnu primjenu zahtijevaju toplinsku vodljivost ≥85 W/(m·K), čvrstoću na savijanje ≥650MPa i otpornost na lom 5~7MPa·m1/2. Tvrtke koje zaista imaju mogućnost masovne proizvodnje keramičkih supstrata od silicij nitrida visoke toplinske vodljivosti uglavnom su Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa i Japan Fine Ceramics.

Domaća istraživanja keramičkih supstratnih materijala od silicijevog nitrida također su postigla određeni napredak. Toplinska vodljivost keramičke podloge od silicijevog nitrida pripremljene postupkom lijevanja na vrpcu Pekinške podružnice Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. je 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. uspješno je pripremio keramičku podlogu od silicijevog nitrida sa čvrstoćom na savijanje od 700-800MPa, žilavošću loma ≥8MPa·m1/2 i toplinskom vodljivošću ≥80W/(m·K) optimiziranjem metode i procesa sinteriranja.


Vrijeme objave: 29. listopada 2024