Svi tanki filmovi koji se koriste u proizvodnji poluvodiča imaju otpor, a otpor filma ima izravan utjecaj na performanse uređaja. Obično ne mjerimo apsolutnu otpornost filma, već koristimo otpornost ploče da je karakteriziramo.
Što su otpor ploče i volumni otpor?
Volumni otpor, poznat i kao volumni otpor, svojstveno je svojstvo materijala koje karakterizira koliko materijal ometa protok električne struje. Često korišteni simbol ρ predstavlja jedinicu Ω.
Otpor sloja, poznat i kao otpor lista, engleski naziv je otpor sloja, što se odnosi na vrijednost otpora filma po jedinici površine. Često korišteni simboli Rs ili ρs za izražavanje, jedinica je Ω/sq ili Ω/□
Odnos između to dvoje je: otpor sloja = otpor volumena/debljina filma, to jest, Rs =ρ/t
Zašto mjeriti otpor ploče?
Mjerenje apsolutnog otpora filma zahtijeva precizno poznavanje geometrijskih dimenzija filma (duljina, širina, debljina), što ima mnogo varijabli i vrlo je složeno za vrlo tanke ili nepravilno oblikovane filmove. Otpor lima povezan je samo s debljinom filma i može se brzo i izravno ispitati bez kompliciranih izračuna veličine.
Za koje je folije potrebno mjeriti otpornost lista?
Općenito, kod vodljivih filmova i poluvodičkih filmova potrebno je mjeriti kvadratni otpor, dok kod izolacijskih filmova nije potrebno mjeriti.
Kod dopiranja poluvodiča također se mjeri otpornost sloja silicija.
Kako izmjeriti kvadratni otpor?
Metoda s četiri sonde općenito se koristi u industriji. Metoda s četiri sonde može mjeriti kvadratni otpor u rasponu od 1E-3 do 1E+9Ω/sq. Metoda s četiri sonde može izbjeći pogreške u mjerenju zbog kontaktnog otpora između sonde i uzorka.
Metode mjerenja:
1) Postavite četiri linearno raspoređene sonde na površinu uzorka.
2) Primijenite stalnu struju između dvije vanjske sonde.
3) Odredite otpor mjerenjem razlike potencijala između dviju unutarnjih sondi
RS : otpor lima
ΔV: Promjena napona izmjerena između unutarnjih sondi
I : Struja koja se primjenjuje između vanjskih sondi
Vrijeme objave: 29. ožujka 2024