Fotorezist se trenutno široko koristi u obradi i proizvodnji finih grafičkih sklopova u optoelektroničkoj informacijskoj industriji. Trošak procesa fotolitografije čini oko 35% cjelokupnog procesa proizvodnje čipa, a utrošak vremena čini 40% do 60% cjelokupnog procesa proizvodnje čipa. To je temeljni proces u proizvodnji poluvodiča. Fotootporni materijali čine oko 4% ukupnih troškova materijala za proizvodnju čipova i osnovni su materijali za proizvodnju poluvodičkih integriranih sklopova.
Stopa rasta kineskog tržišta fotorezista viša je od međunarodne razine. Prema podacima Prospective Industry Research Institute, lokalna ponuda fotorezista u mojoj zemlji 2019. iznosila je oko 7 milijardi juana, a stopa rasta spoja od 2010. dosegla je 11%, što je puno više od globalne stope rasta. Međutim, lokalna ponuda čini samo oko 10% globalnog udjela, a domaća zamjena postignuta je uglavnom za jeftinije fotoreziste PCB-a. Stopa samodostatnosti fotorezista u području LCD-a i poluvodiča iznimno je niska.
Fotorezist je medij za grafički prijenos koji koristi različitu topljivost nakon svjetlosne reakcije za prijenos uzorka maske na podlogu. Uglavnom se sastoji od fotoosjetljivog sredstva (fotoinicijatora), polimerizatora (fotoosjetljive smole), otapala i aditiva.
Sirovine za fotorezist uglavnom su smole, otapala i drugi aditivi. Među njima, otapalo čini najveći udio, općenito više od 80%. Iako drugi aditivi čine manje od 5% mase, oni su ključni materijali koji određuju jedinstvena svojstva fotorezista, uključujući fotosenzibilizatore, površinski aktivne tvari i druge materijale. U procesu fotolitografije, fotorezist se ravnomjerno nanosi na različite podloge kao što su silikonske pločice, staklo i metal. Nakon eksponiranja, razvijanja i jetkanja, uzorak s maske se prenosi na film kako bi se formirao geometrijski uzorak koji u potpunosti odgovara maski.
Fotorezist se može podijeliti u tri kategorije prema daljnjim područjima primjene: poluvodički fotorezist, panel fotorezist i PCB fotorezist.
Poluvodički fotorezist
Trenutno je KrF/ArF još uvijek glavni materijal za obradu. S razvojem integriranih sklopova, tehnologija fotolitografije prošla je kroz razvoj od G-line (436nm) litografije, H-line (405nm) litografije, I-line (365nm) litografije, do duboke ultraljubičaste DUV litografije (KrF248nm i ArF193nm), 193nm uranjanje plus tehnologija višestrukih slika (32nm-7nm), a zatim do ekstremne ultraljubičaste (EUV, <13,5 nm) litografije, pa čak i neoptičke litografije (izlaganje snopom elektrona, izlaganje snopom iona), a primijenjene su i različite vrste fotorezista s odgovarajućim valnim duljinama kao fotoosjetljivim valnim duljinama.
Tržište fotorezista ima visok stupanj industrijske koncentracije. Japanske tvrtke imaju apsolutnu prednost na području poluvodičkih fotorezista. Glavni proizvođači poluvodičkih fotorezista uključuju Tokyo Ohka, JSR, Sumitomo Chemical, Shin-Etsu Chemical u Japanu; Dongjin Semiconductor u Južnoj Koreji; i DowDuPont u Sjedinjenim Državama, među kojima japanske tvrtke zauzimaju oko 70% tržišnog udjela. Što se tiče proizvoda, Tokyo Ohka prednjači u području g-line/i-line i Krf fotorezista s tržišnim udjelima od 27,5% odnosno 32,7%. JSR ima najveći tržišni udio u području Arf fotorezista, od 25,6%.
Prema prognozama Fuji Economica, očekuje se da će globalni kapacitet proizvodnje ArF i KrF ljepila dosegnuti 1.870 i 3.650 tona u 2023., s veličinom tržišta od gotovo 4,9 milijardi i 2,8 milijardi juana. Bruto profitna marža japanskih vodećih proizvođača fotootpora JSR i TOK, uključujući fotootpor, iznosi oko 40%, od čega troškovi sirovina za fotootpor čine oko 90%.
Domaći proizvođači poluvodičkih fotootpora uključuju Shanghai Xinyang, Nanjing Optoelectronics, Jingrui Co., Ltd., Beijing Kehua i Hengkun Co., Ltd. Trenutno samo Beijing Kehua i Jingrui Co., Ltd. imaju mogućnost masovne proizvodnje KrF fotootpora , a proizvodi tvrtke Beijing Kehua isporučeni su SMIC-u. Očekuje se da će projekt fotorezista ArF (suhi postupak) od 19 000 tona godišnje u izgradnji u Shanghai Xinyangu dostići punu proizvodnju 2022. godine.
Panel fotorezist
Fotorezist je ključni materijal za proizvodnju LCD panela. Prema različitim korisnicima, može se podijeliti na RGB ljepilo, BM ljepilo, OC ljepilo, PS ljepilo, TFT ljepilo itd.
Fotorezisti za panele uglavnom uključuju četiri kategorije: fotootporni za TFT ožičenje, fotootporni za LCD/TP razmak, fotootporni u boji i crni fotootporni. Među njima, TFT fotorezisti za ožičenje koriste se za ITO ožičenje, a LCD/TP precipitacijski fotorezisti koriste se za održavanje konstantne debljine tekućeg kristalnog materijala između dvije staklene podloge LCD-a. Fotorezisti u boji i crni fotorezisti mogu filtrima u boji dati funkcije prikaza boja.
Tržište fotorezista za panele mora biti stabilno, a potražnja za fotorezistima u boji je vodeća. Očekuje se da će globalna prodaja dosegnuti 22.900 tona, a prodaja će dosegnuti 877 milijuna USD u 2022.
Očekuje se da će prodaja TFT fotootpornih panela, LCD/TP spacer fotootpornih materijala i crnih fotootpornih materijala dosegnuti 321 milijun USD, 251 milijun USD i 199 milijuna USD u 2022. godini. Prema procjenama Zhiyan Consultinga, veličina globalnog tržišta fotootpornih panela dosegnut će 16,7 milijardi RMB u 2020., sa stopom rasta od oko 4%. Prema našim procjenama, tržište fotootpornog materijala dosegnut će 20,3 milijarde RMB do 2025. Među njima, s prijenosom industrijskog središta LCD-a, očekuje se da će veličina tržišta i stopa lokalizacije LCD fotootpornog materijala u mojoj zemlji postupno rasti.
PCB fotorezist
PCB fotorezist može se podijeliti na UV tintu koja otvrdnjava i UV tintu u spreju prema metodi premazivanja. Trenutačno su domaći dobavljači PCB tinte postupno postigli domaću zamjenu, a tvrtke poput Rongda Photosensitive i Guangxin Materials ovladale su ključnim tehnologijama PCB tinte.
Domaći TFT fotorezist i poluvodički fotorezist još su u početnoj fazi istraživanja. Jingrui Co., Ltd., Yak Technology, Yongtai Technology, Rongda Photosensitive, Xinyihua, China Electronics Rainbow i Feikai Materials svi imaju rasporede u području TFT fotootpora. Među njima, Feikai Materials i Beixu Electronics planiraju proizvodni kapacitet do 5000 tona godišnje. Yak Technology je ušao na ovo tržište preuzimanjem odjela za fotootporne materijale u boji tvrtke LG Chem i ima prednosti u kanalima i tehnologiji.
Za industrije s iznimno visokim tehničkim barijerama kao što je fotorezist, postizanje proboja na tehničkoj razini temelj je, a drugo, potrebno je kontinuirano poboljšanje procesa kako bi se zadovoljile potrebe brzog razvoja industrije poluvodiča.
Dobrodošli na našu web stranicu za informacije o proizvodima i savjetovanje.
Vrijeme objave: 27. studenoga 2024