U opremi za plazma jetkanje, keramičke komponente igraju ključnu ulogu, uključujući fokusni prsten. Fokusni prsten, postavljen oko pločice iu izravnom kontaktu s njom, bitan je za fokusiranje plazme na pločicu primjenom napona na prsten. Ovo poboljšava ne...
Pročitaj više