Semicerasa zadovoljstvom nudiPFA kazeta, vrhunski izbor za rukovanje pločicama u okruženjima gdje su kemijska otpornost i trajnost najvažniji. Izrađena od Perfluoroalkoxy (PFA) materijala visoke čistoće, ova je kazeta dizajnirana da izdrži najzahtjevnije uvjete u proizvodnji poluvodiča, osiguravajući sigurnost i integritet vaših pločica.
Otpornost na kemikalije bez premcaThePFA kazetaje dizajniran da pruži vrhunsku otpornost na širok raspon kemikalija, što ga čini savršenim izborom za procese koji uključuju agresivne kiseline, otapala i druge jake kemikalije. Ova robusna kemijska otpornost osigurava da kazeta ostane netaknuta i funkcionalna čak iu najkorozivnijim okruženjima, čime se produljuje njezin životni vijek i smanjuje potreba za čestim zamjenama.
Izgradnja visoke čistoćeSemicera jePFA kazetaje proizveden od ultra čistog PFA materijala, koji je ključan u sprječavanju kontaminacije tijekom obrade vafla. Ova konstrukcija visoke čistoće smanjuje rizik od stvaranja čestica i kemijskog ispiranja, osiguravajući da su vaše vafle zaštićene od nečistoća koje bi mogle ugroziti njihovu kvalitetu.
Poboljšana izdržljivost i izvedbaDizajniran za izdržljivost,PFA kazetaodržava svoj strukturni integritet pod ekstremnim temperaturama i rigoroznim uvjetima obrade. Bilo da je izložena visokim temperaturama ili opetovano rukovanje, ova kazeta zadržava svoj oblik i performanse, nudeći dugoročnu pouzdanost u zahtjevnim proizvodnim okruženjima.
Precizno inženjerstvo za sigurno rukovanjeTheSemicera PFA kasetaodlikuje se preciznim inženjeringom koji osigurava sigurno i stabilno rukovanje pločicama. Svaki utor je pažljivo dizajniran za sigurno držanje pločica na mjestu, sprječavajući bilo kakvo pomicanje ili pomicanje koje bi moglo dovesti do oštećenja. Ovo precizno inženjerstvo podržava dosljedno i točno postavljanje pločica, pridonoseći ukupnoj učinkovitosti procesa.
Svestrana primjena u različitim procesimaZahvaljujući vrhunskim svojstvima materijala,PFA kazetadovoljno je svestran da se može koristiti u različitim fazama proizvodnje poluvodiča. Posebno je prikladan za mokro jetkanje, kemijsko taloženje iz pare (CVD) i druge procese koji uključuju oštra kemijska okruženja. Njegova prilagodljivost čini ga ključnim alatom za održavanje integriteta procesa i kvalitete pločica.
Predanost kvaliteti i inovacijamaU Semiceri smo predani pružanju proizvoda koji zadovoljavaju najviše industrijske standarde. ThePFA kazetaprimjer je ove predanosti, nudeći pouzdano rješenje koje se neprimjetno integrira u vaše proizvodne procese. Svaka kazeta prolazi strogu kontrolu kvalitete kako bi se osiguralo da zadovoljava naše rigorozne kriterije izvedbe, pružajući izvrsnost koju očekujete od Semicere.
Predmeti | Proizvodnja | Istraživanje | lutka |
Parametri kristala | |||
Politip | 4H | ||
Pogreška orijentacije površine | <11-20 >4±0,15° | ||
Električni parametri | |||
Dopant | n-tip dušika | ||
Otpornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mehanički parametri | |||
Promjer | 150,0±0,2 mm | ||
Debljina | 350±25 μm | ||
Primarna ravna orijentacija | [1-100]±5° | ||
Primarna ravna duljina | 47,5±1,5 mm | ||
Sekundarni stan | Nijedan | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Pramac | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Prednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktura | |||
Gustoća mikrocijevi | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Metalne nečistoće | ≤5E10atoma/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Prednja kvaliteta | |||
Ispred | Si | ||
Završna obrada površine | Si-face CMP | ||
Čestice | ≤60ea/vafer (veličina≥0.3μm) | NA | |
Ogrebotine | ≤5ea/mm. Kumulativna duljina ≤Promjer | Kumulativna duljina≤2*Promjer | NA |
Narančina kora/jame/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija | Nijedan | NA | |
Rubni čipovi/udubljenja/lomovi/šesterokutne ploče | Nijedan | ||
Politipska područja | Nijedan | Kumulativno područje≤20% | Kumulativno područje≤30% |
Prednje lasersko označavanje | Nijedan | ||
Kvaliteta leđa | |||
Zadnji završetak | C-lice CMP | ||
Ogrebotine | ≤5ea/mm, Kumulativna duljina≤2*Promjer | NA | |
Stražnji nedostaci (odlomljeni rubovi/udubljenja) | Nijedan | ||
Hrapavost leđa | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Stražnje lasersko označavanje | 1 mm (od gornjeg ruba) | ||
Rub | |||
Rub | Iskošenje | ||
Pakiranje | |||
Pakiranje | Epi-ready s vakuumskim pakiranjem Pakiranje kazeta s više pločica | ||
*Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD. |