PFA kazeta

Kratki opis:

PFA kazeta– Doživite neusporedivu kemijsku otpornost i izdržljivost sa Semicerinom PFA kazetom, idealnim rješenjem za sigurno i učinkovito rukovanje pločicama u proizvodnji poluvodiča.


Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Semicerasa zadovoljstvom nudiPFA kazeta, vrhunski izbor za rukovanje pločicama u okruženjima gdje su kemijska otpornost i trajnost najvažniji. Izrađena od Perfluoroalkoxy (PFA) materijala visoke čistoće, ova je kazeta dizajnirana da izdrži najzahtjevnije uvjete u proizvodnji poluvodiča, osiguravajući sigurnost i integritet vaših pločica.

Otpornost na kemikalije bez premcaThePFA kazetaje dizajniran da pruži vrhunsku otpornost na širok raspon kemikalija, što ga čini savršenim izborom za procese koji uključuju agresivne kiseline, otapala i druge jake kemikalije. Ova robusna kemijska otpornost osigurava da kazeta ostane netaknuta i funkcionalna čak iu najkorozivnijim okruženjima, čime se produljuje njezin životni vijek i smanjuje potreba za čestim zamjenama.

Izgradnja visoke čistoćeSemicera jePFA kazetaje proizveden od ultra čistog PFA materijala, koji je ključan u sprječavanju kontaminacije tijekom obrade vafla. Ova konstrukcija visoke čistoće smanjuje rizik od stvaranja čestica i kemijskog ispiranja, osiguravajući da su vaše vafle zaštićene od nečistoća koje bi mogle ugroziti njihovu kvalitetu.

Poboljšana izdržljivost i izvedbaDizajniran za izdržljivost,PFA kazetaodržava svoj strukturni integritet pod ekstremnim temperaturama i rigoroznim uvjetima obrade. Bilo da je izložena visokim temperaturama ili opetovano rukovanje, ova kazeta zadržava svoj oblik i performanse, nudeći dugoročnu pouzdanost u zahtjevnim proizvodnim okruženjima.

Precizno inženjerstvo za sigurno rukovanjeTheSemicera PFA kasetaodlikuje se preciznim inženjeringom koji osigurava sigurno i stabilno rukovanje pločicama. Svaki utor je pažljivo dizajniran za sigurno držanje pločica na mjestu, sprječavajući bilo kakvo pomicanje ili pomicanje koje bi moglo dovesti do oštećenja. Ovo precizno inženjerstvo podržava dosljedno i točno postavljanje pločica, pridonoseći ukupnoj učinkovitosti procesa.

Svestrana primjena u različitim procesimaZahvaljujući vrhunskim svojstvima materijala,PFA kazetaje dovoljno svestran da se može koristiti u različitim fazama proizvodnje poluvodiča. Posebno je prikladan za mokro jetkanje, kemijsko taloženje iz pare (CVD) i druge procese koji uključuju oštra kemijska okruženja. Njegova prilagodljivost čini ga ključnim alatom za održavanje integriteta procesa i kvalitete pločica.

Predanost kvaliteti i inovacijamaU Semiceri smo predani pružanju proizvoda koji zadovoljavaju najviše industrijske standarde. ThePFA kazetaprimjer je ove predanosti, nudeći pouzdano rješenje koje se neprimjetno integrira u vaše proizvodne procese. Svaka kazeta prolazi strogu kontrolu kvalitete kako bi se osiguralo da zadovoljava naše rigorozne kriterije izvedbe, pružajući izvrsnost koju očekujete od Semicere.

Predmeti

Proizvodnja

Istraživanje

lutka

Parametri kristala

Politip

4H

Pogreška orijentacije površine

<11-20 >4±0,15°

Električni parametri

Dopant

n-tip dušika

Otpornost

0,015-0,025 ohm·cm

Mehanički parametri

Promjer

150,0±0,2 mm

Debljina

350±25 μm

Primarna ravna orijentacija

[1-100]±5°

Primarna ravna duljina

47,5±1,5 mm

Sekundarni stan

Nijedan

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Pramac

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Prednja (Si-face) hrapavost (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktura

Gustoća mikrocijevi

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Metalne nečistoće

≤5E10atoma/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Prednja kvaliteta

Ispred

Si

Površinska obrada

Si-face CMP

Čestice

≤60ea/vafer (veličina≥0.3μm)

NA

Ogrebotine

≤5ea/mm. Kumulativna duljina ≤Promjer

Kumulativna duljina≤2*Promjer

NA

Narančina kora/rupice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija

Nijedan

NA

Rubni čipovi/udubljenja/lomovi/šesterokutne ploče

Nijedan

Politipska područja

Nijedan

Kumulativna površina≤20%

Kumulativno područje≤30%

Prednje lasersko označavanje

Nijedan

Kvaliteta leđa

Zadnji završetak

C-lice CMP

Ogrebotine

≤5ea/mm, Kumulativna duljina≤2*Promjer

NA

Stražnji nedostaci (odlomljeni rubovi/udubljenja)

Nijedan

Hrapavost leđa

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Stražnje lasersko označavanje

1 mm (od gornjeg ruba)

Rub

Rub

Iskošenje

Pakiranje

Pakiranje

Epi-ready s vakuumskim pakiranjem

Pakiranje kazeta s više pločica

*Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD.

tehn_1_2_veličina
SiC pločice

  • Prethodna:
  • Sljedeći: