RTP CVD SiC prsten

Kratki opis:

RTP CVD SiC prstenovi uglavnom se sastoje od silicijevog karbida (SiC), čiji kemijski sastav i kristalna struktura daju izvrsne performanse. Silicijev karbid je keramički materijal visoke točke taljenja, visoke tvrdoće i izvrsne otpornosti na koroziju. Pokazuje dobru toplinsku vodljivost i kemijsku stabilnost na visokim temperaturama, te ima izvrsnu mehaničku čvrstoću i otpornost na habanje.

 


Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Zašto je prsten za jetkanje od silicij karbida?

RTPCVD SiC prstenovinaširoko se koriste u industrijskim i znanstvenim područjima u visokotemperaturnim i korozivnim okruženjima. Ima važnu ulogu u proizvodnji poluvodiča, optoelektronici, preciznim strojevima i kemijskoj industriji. Specifične primjene uključuju:

1. Proizvodnja poluvodiča:RTP CVD SiC prstenovimože se koristiti za grijanje i hlađenje poluvodičke opreme, osiguravajući stabilnu kontrolu temperature i osiguravajući točnost i dosljednost procesa.

2. Optoelektronika: Zbog izvrsne toplinske vodljivosti i otpornosti na visoke temperature, RTPCVD SiC prstenovimogu se koristiti kao potpora i materijali za raspršivanje topline za lasere, optičku komunikacijsku opremu i optičke komponente.

3. Precizni strojevi: RTP CVD SiC prstenovi mogu se koristiti za precizne instrumente i opremu u visokotemperaturnim i korozivnim okruženjima, kao što su visokotemperaturne peći, vakuumski uređaji i kemijski reaktori.

4. Kemijska industrija: Zbog svoje otpornosti na koroziju i kemijske stabilnosti, RTP CVD SiC prstenovi mogu se koristiti u spremnicima, cijevima i reaktorima u kemijskim reakcijama i katalitičkim procesima.

 

Epi sustav

Epi sustav

RTP sustav

RTP sustav

CVD sustav

CVD sustav

Izvedba proizvoda:

1. Upoznajte proces ispod 28nm

2. Super otpornost na koroziju

3. Super čista izvedba

4. Super tvrdoća

5. Visoka gustoća

6. Otpornost na visoke temperature

7. Otpornost na habanje

oprema za proizvodnju kvarca 4

Primjena proizvoda:

Materijali od silicijevog karbida imaju karakteristike visoke tvrdoće, otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju i stabilnosti na visoke temperature. Proizvodi s izvrsnim sveobuhvatnim performansama naširoko se koriste u procesima suhog jetkanja i TF/difuzije.

Izvedba proizvoda:

1. Upoznajte proces ispod 28nm

2. Super otpornost na koroziju

3. Super čista izvedba

4. Super tvrdoća

5. Visoka gustoća

6. Otpornost na visoke temperature

7. Otpornost na habanje

微信截图_20241018182920
微信截图_20241018182909

Razvoj kompozitnog procesa:

• Grafit +SiC premaz

• Čvrsti CVD SiC

• Sinterirani SiC+CVD

• Sic Sinterirani SiC

Razvoj više vrsta proizvoda:

• Prsten

• Stol

• Susceptor

• Glava tuša

Semicera Radno mjesto
Semicera radno mjesto 2
Ware House Semicera
Oprema stroj
CNN obrada, kemijsko čišćenje, CVD premaz
Naša usluga

  • Prethodna:
  • Sljedeći: