RTPCVD SiC prstenovinaširoko se koriste u industrijskim i znanstvenim područjima u visokotemperaturnim i korozivnim okruženjima. Ima važnu ulogu u proizvodnji poluvodiča, optoelektronici, preciznim strojevima i kemijskoj industriji. Specifične primjene uključuju:
1. Proizvodnja poluvodiča:RTP CVD SiC prstenovimože se koristiti za grijanje i hlađenje poluvodičke opreme, osiguravajući stabilnu kontrolu temperature i osiguravajući točnost i dosljednost procesa.
2. Optoelektronika: Zbog izvrsne toplinske vodljivosti i otpornosti na visoke temperature, RTPCVD SiC prstenovimogu se koristiti kao potpora i materijali za raspršivanje topline za lasere, optičku komunikacijsku opremu i optičke komponente.
3. Precizni strojevi: RTP CVD SiC prstenovi mogu se koristiti za precizne instrumente i opremu u visokotemperaturnim i korozivnim okruženjima, kao što su visokotemperaturne peći, vakuumski uređaji i kemijski reaktori.
4. Kemijska industrija: Zbog svoje otpornosti na koroziju i kemijske stabilnosti, RTP CVD SiC prstenovi mogu se koristiti u spremnicima, cijevima i reaktorima u kemijskim reakcijama i katalitičkim procesima.
Epi sustav
RTP sustav
CVD sustav
Izvedba proizvoda:
1. Upoznajte proces ispod 28nm
2. Super otpornost na koroziju
3. Super čista izvedba
4. Super tvrdoća
5. Visoka gustoća
6. Otpornost na visoke temperature
7. Otpornost na habanje
Primjena proizvoda:
Materijali od silicijevog karbida imaju karakteristike visoke tvrdoće, otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju i stabilnosti na visoke temperature. Proizvodi s izvrsnim sveobuhvatnim performansama naširoko se koriste u procesima suhog jetkanja i TF/difuzije.
Izvedba proizvoda:
1. Upoznajte proces ispod 28nm
2. Super otpornost na koroziju
3. Super čista izvedba
4. Super tvrdoća
5. Visoka gustoća
6. Otpornost na visoke temperature
7. Otpornost na habanje
Razvoj kompozitnog procesa:
• Grafit +SiC premaz
• Čvrsti CVD SiC
• Sinterirani SiC+CVD
• Sic Sinterirani SiC
Razvoj više vrsta proizvoda:
• Prsten
• Stol
• Susceptor
• Glava tuša