Susceptor obložen SiC za duboki UV-LED

Kratki opis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. vodeći je dobavljač napredne poluvodičke keramike. Naši glavni proizvodi uključuju: ugravirane diskove od silicij-karbida, prikolice za čamce od silicij-karbida, brodove s pločama od silicij-karbida (PV i poluvodiči), cijevi za peći od silicij-karbida, konzolne lopatice od silicij-karbida, stezne glave od silicij-karbida, grede od silicij-karbida, kao i CVD SiC prevlake i TaC premazi.

Proizvodi se uglavnom koriste u poluvodičkoj i fotonaponskoj industriji, kao što su rast kristala, epitaksija, jetkanje, pakiranje, premazivanje i oprema za difuzijske peći.

 

 

 


Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Opis

Naša tvrtka pruža usluge procesa prevlačenja SiC metodom CVD na površini grafita, keramike i drugih materijala, tako da posebni plinovi koji sadrže ugljik i silicij reagiraju na visokoj temperaturi kako bi se dobile molekule SiC visoke čistoće, molekule taložene na površini presvučenih materijala, formiranje SIC zaštitnog sloja.

6

UV-LED-1

UV-LED-2

Glavne značajke

1. Otpornost na oksidaciju pri visokim temperaturama: otpornost na oksidaciju je još uvijek vrlo dobra kada je temperatura visoka do 1600 C.
2. Visoka čistoća: izrađeno kemijskim taloženjem iz pare pod uvjetima kloriranja na visokoj temperaturi.
3. Otpornost na eroziju: visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
4. Otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.

Glavne specifikacije CVD-SIC premaza

SiC-CVD svojstva
Kristalna struktura FCC β faza
Gustoća g/cm³ 3.21
Tvrdoća Tvrdoća po Vickersu 2500
Veličina zrna μm 2~10
Kemijska čistoća % 99.99995
Toplinski kapacitet J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura sublimacije 2700
Fleksuralna snaga MPa (RT 4 točke) 415
Youngov modul Gpa (savijanje od 4 točke, 1300 ℃) 430
Toplinska ekspanzija (CTE) 10-6K-1 4.5
Toplinska vodljivost (W/mK) 300
Semicera Radno mjesto
Semicera radno mjesto 2
Oprema stroj
CNN obrada, kemijsko čišćenje, CVD premaz
Naša usluga

  • Prethodna:
  • Sljedeći: