Opis
Semicorex Wafer Carriers sa SiC premazom pružaju iznimnu toplinsku stabilnost i vodljivost, osiguravajući ravnomjernu raspodjelu topline tijekom CVD procesa, ključnu za visokokvalitetne karakteristike tankog filma i premaza.
Ključne karakteristike:
1. Izvanredna toplinska stabilnost i vodljivostNaši nosači pločica obloženi SiC-om ističu se u održavanju stabilnih i dosljednih temperatura, ključnih za CVD procese. To osigurava ravnomjernu raspodjelu topline, što dovodi do vrhunske kvalitete tankog filma i premaza.
2. Precizna proizvodnjaSvaki nosač pločice proizveden je prema strogim standardima, osiguravajući jednoliku debljinu i glatkoću površine. Ova preciznost je ključna za postizanje dosljednih stopa taloženja i svojstava filma na više pločica, poboljšavajući ukupnu kvalitetu proizvodnje.
3. Barijera od nečistoćaSiC premaz djeluje kao nepropusna barijera, sprječavajući difuziju nečistoća iz prijemnika u pločicu. To smanjuje rizik od kontaminacije, što je ključno za proizvodnju poluvodičkih uređaja visoke čistoće.
4. Trajnost i isplativostRobusna konstrukcija i SiC premaz povećavaju trajnost nosača pločica, smanjujući učestalost zamjene suceptora. To dovodi do nižih troškova održavanja i smanjenog vremena zastoja, povećavajući učinkovitost proizvodnih operacija poluvodiča.
5. Mogućnosti prilagodbeSemicorex nosači pločica sa SiC premazom mogu se prilagoditi kako bi zadovoljili specifične zahtjeve procesa, uključujući varijacije u veličini, obliku i debljini premaza. Ova fleksibilnost omogućuje optimizaciju prijemnika kako bi odgovarao jedinstvenim zahtjevima različitih procesa izrade poluvodiča. Mogućnosti prilagodbe omogućuju razvoj dizajna suceptora skrojenih za specijalizirane primjene, kao što je velika proizvodnja ili istraživanje i razvoj, osiguravajući optimalnu izvedbu za specifične slučajeve uporabe.
Prijave:
Semicera nosači pločica sa SiC premazom idealni su za:
• Epitaksijalni rast poluvodičkih materijala
• Procesi kemijskog taloženja parom (CVD).
• Proizvodnja visokokvalitetnih poluvodičkih pločica
• Napredne aplikacije za proizvodnju poluvodiča
Tehničke specifikacije:
