Pregled proizvoda
TheSilicijem impregniran silicij karbid (SiC) lopatica i nosač vaferaje projektiran kako bi zadovoljio zahtjevne zahtjeve primjene toplinske obrade poluvodiča. Izrađen od SiC-a visoke čistoće i poboljšan impregnacijom silicija, ovaj proizvod nudi jedinstvenu kombinaciju performansi pri visokim temperaturama, izvrsne toplinske vodljivosti, otpornosti na koroziju i izvanredne mehaničke čvrstoće.
Integriranjem napredne znanosti o materijalima s preciznom proizvodnjom, ovo rješenje osigurava vrhunske performanse, pouzdanost i trajnost za proizvođače poluvodiča.
Ključne značajke
1.Izuzetna otpornost na visoke temperature
S talištem iznad 2700°C, SiC materijali su inherentno stabilni pod ekstremnom toplinom. Silikonska impregnacija dodatno povećava njihovu toplinsku stabilnost, omogućujući im da izdrže dugotrajno izlaganje visokim temperaturama bez slabljenja strukture ili degradacije performansi.
2.Vrhunska toplinska vodljivost
Iznimna toplinska vodljivost SiC-a impregniranog silicijem osigurava ravnomjernu raspodjelu topline, smanjujući toplinski stres tijekom kritičnih faza obrade. Ovo svojstvo produljuje vijek trajanja opreme i smanjuje vrijeme zastoja u proizvodnji, što ga čini idealnim za toplinsku obradu na visokim temperaturama.
3.Otpornost na oksidaciju i koroziju
Robusni sloj silicijevog oksida prirodno se formira na površini, pružajući izvanrednu otpornost na oksidaciju i koroziju. To osigurava dugotrajnu pouzdanost u teškim radnim okruženjima, štiteći i materijal i okolne komponente.
4.Visoka mehanička čvrstoća i otpornost na trošenje
Silicij impregniran SiC ima izvrsnu tlačnu čvrstoću i otpornost na habanje, održavajući svoj strukturni integritet u uvjetima visokog opterećenja i visoke temperature. Time se smanjuje rizik od oštećenja uzrokovanih trošenjem, osiguravajući dosljednu izvedbu tijekom duljih ciklusa uporabe.
Tehnički podaci
| Naziv proizvoda | SC-RSiC-Si |
| Materijal | Silicij impregnacija Silicij karbid kompakt (visoka čistoća) |
| Prijave | Dijelovi za toplinsku obradu poluvodiča, dijelovi opreme za proizvodnju poluvodiča |
| Obrazac za dostavu | Oblikovano tijelo (sinterovano tijelo) |
| Sastav | Mehanička svojstva | Youngov modul (GPa) | Čvrstoća na savijanje (MPa) | ||
| Sastav (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Nasipna gustoća (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Temperatura otporna na toplinu°C | 1350 | Poissonov omjer | 0,18 (RT) | ||
| Toplinska svojstva | Toplinska vodljivost (W/(m·K)) | Specifični toplinski kapacitet (kJ/(kg·K)) | Koeficijent toplinskog širenja (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 x10-6 | |
| Sadržaj nečistoća ((ppm) | |||||||||||||
| Element | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Stopa sadržaja | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0.3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Prijave
▪Toplinska obrada poluvodiča:Idealno za procese kao što su kemijsko taloženje iz parne pare (CVD), epitaksijalni rast i žarenje, gdje su precizna kontrola temperature i trajnost materijala kritični.
▪Nosači i lopatice za vafle:Dizajniran za sigurno držanje i transport pločica tijekom termičke obrade na visokim temperaturama.
▪Ekstremna radna okruženja: Prikladno za postavke koje zahtijevaju otpornost na toplinu, izloženost kemikalijama i mehanički stres.
Prednosti silikonom impregniranog SiC-a
Kombinacija silicijevog karbida visoke čistoće i napredne tehnologije silicijske impregnacije donosi neusporedive prednosti u radu:
▪Preciznost:Povećava točnost i kontrolu obrade poluvodiča.
▪Stabilnost:Podnosi teške uvjete rada bez ugrožavanja funkcionalnosti.
▪Dugovječnost:Produžuje vijek trajanja opreme za proizvodnju poluvodiča.
▪Učinkovitost:Poboljšava produktivnost osiguravajući pouzdane i dosljedne rezultate.
Zašto odabrati naša SiC rješenja impregnirana silikonom?
At Semiceraspecijalizirani smo za pružanje rješenja visokih performansi skrojenih prema potrebama proizvođača poluvodiča. Naša lopatica od silicij-karbida impregnirana silikonom i nosač pločica podvrgnuti su rigoroznom testiranju i osiguranju kvalitete kako bi zadovoljili industrijske standarde. Odabirom Semicere dobivate pristup najsuvremenijim materijalima dizajniranim za optimizaciju vaših proizvodnih procesa i poboljšanje vaših proizvodnih mogućnosti.
Tehničke specifikacije
▪Sastav materijala:Silicijev karbid visoke čistoće sa silicijskom impregnacijom.
▪Raspon radne temperature:Do 2700°C.
▪ Toplinska vodljivost:Iznimno visoka za ravnomjernu raspodjelu topline.
▪Svojstva otpora:Otporan na oksidaciju, koroziju i habanje.
▪Prijave:Kompatibilan s raznim sustavima termičke obrade poluvodiča.
Kontaktirajte nas
Jeste li spremni unaprijediti svoj proces proizvodnje poluvodiča? KontaktSemiceradanas kako biste saznali više o našoj lopatici od silicij karbida impregniranoj silicijem i nosaču pločica.
▪Email: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Mjesto:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Province, 315201, Kina
