Semicera SOI Wafer (Silicon On Insulator) dizajniran je za pružanje vrhunske električne izolacije i toplinske izvedbe. Ova inovativna struktura vafera, sa slojem silicija na izolacijskom sloju, osigurava poboljšane performanse uređaja i smanjenu potrošnju energije, što ga čini idealnim za razne visokotehnološke primjene.
Naše SOI pločice nude iznimne prednosti za integrirane krugove minimiziranjem parazitskog kapaciteta i poboljšanjem brzine i učinkovitosti uređaja. Ovo je ključno za modernu elektroniku, gdje su visoke performanse i energetska učinkovitost bitni i za potrošačke i za industrijske primjene.
Semicera koristi napredne proizvodne tehnike za proizvodnju SOI pločica dosljedne kvalitete i pouzdanosti. Ove pločice pružaju izvrsnu toplinsku izolaciju, što ih čini prikladnima za korištenje u okruženjima gdje je disipacija topline problem, kao što su elektronički uređaji visoke gustoće i sustavi upravljanja energijom.
Korištenje SOI pločica u proizvodnji poluvodiča omogućuje razvoj manjih, bržih i pouzdanijih čipova. Semicerina predanost preciznom inženjeringu osigurava da naše SOI pločice zadovoljavaju visoke standarde potrebne za vrhunske tehnologije u područjima kao što su telekomunikacije, automobilska industrija i potrošačka elektronika.
Odabir Semicera SOI Wafer znači ulaganje u proizvod koji podržava napredak elektroničkih i mikroelektroničkih tehnologija. Naše pločice su dizajnirane kako bi pružile poboljšane performanse i izdržljivost, doprinoseći uspjehu vaših visokotehnoloških projekata i osiguravajući da ostanete na čelu inovacija.
| Predmeti | Proizvodnja | Istraživanje | lutka |
| Parametri kristala | |||
| Politip | 4H | ||
| Pogreška orijentacije površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-tip dušika | ||
| Otpornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanički parametri | |||
| Promjer | 150,0±0,2 mm | ||
| Debljina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orijentacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna duljina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarni stan | Nijedan | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Pramac | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Prednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gustoća mikrocijevi | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalne nečistoće | ≤5E10atoma/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Prednja kvaliteta | |||
| Ispred | Si | ||
| Površinska obrada | Si-face CMP | ||
| Čestice | ≤60ea/vafer (veličina≥0.3μm) | NA | |
| Ogrebotine | ≤5ea/mm. Kumulativna duljina ≤Promjer | Kumulativna duljina≤2*Promjer | NA |
| Narančina kora/rupice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija | Nijedan | NA | |
| Rubni čipovi/udubljenja/lomovi/šesterokutne ploče | Nijedan | ||
| Politipska područja | Nijedan | Kumulativna površina≤20% | Kumulativno područje≤30% |
| Prednje lasersko označavanje | Nijedan | ||
| Kvaliteta leđa | |||
| Zadnji završetak | C-lice CMP | ||
| Ogrebotine | ≤5ea/mm, Kumulativna duljina≤2*Promjer | NA | |
| Stražnji nedostaci (odlomljeni rubovi/udubljenja) | Nijedan | ||
| Hrapavost leđa | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Stražnje lasersko označavanje | 1 mm (od gornjeg ruba) | ||
| Rub | |||
| Rub | Iskošenje | ||
| Pakiranje | |||
| Pakiranje | Epi-ready s vakuumskim pakiranjem Pakiranje kazeta s više pločica | ||
| *Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD. | |||
