TaC presvučeni epitaksijalni nosači pločicaobično se koriste u pripremi visokoučinkovitih optoelektroničkih uređaja, energetskih uređaja, senzora i drugih područja. Ovajepitaxial vafer nosačodnosi se na taloženjeTaCtanki film na podlozi tijekom procesa rasta kristala kako bi se formirala pločica specifične strukture i performansi za naknadnu pripremu uređaja.
Za pripremu se obično koristi tehnologija kemijskog taloženja iz pare (CVD).TaC presvučeni epitaksijalni nosači pločica. Reakcijom metalnih organskih prekursora i plinova izvora ugljika na visokoj temperaturi, film TaC može se taložiti na površini kristalne podloge. Ovaj film može imati izvrsna električna, optička i mehanička svojstva i prikladan je za pripremu raznih uređaja visokih performansi.
Semicera nudi specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći postupak premazivanja omogućuje premazima tantal karbida (TaC) postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor presvučen grafitom) i produljenje životnog vijeka ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC prevlake od tantal karbida je za rješavanje problema rubova i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je otkrila tehnologiju prevlake tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodnu naprednu razinu.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCuz zajedničke napore odjela za istraživanje i razvoj. Defekti se lako mogu pojaviti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je usporedba pločica sa i bez TaC, kao i Simicera' dijelova za rast monokristala.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
