Semicera nudi specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći postupak premazivanja omogućuje premazima tantal karbida (TaC) postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor presvučen grafitom) i produljenje životnog vijeka ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC prevlake od tantal karbida je za rješavanje problema rubova i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je otkrila tehnologiju prevlake tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodnu naprednu razinu.
Silicijev karbid (SiC) je ključni materijal u trećoj generaciji poluvodiča, ali je njegova stopa prinosa bila ograničavajući faktor za rast industrije. Nakon opsežnog testiranja u Semicerinim laboratorijima, utvrđeno je da raspršeni i sinterirani TaC nema potrebnu čistoću i ujednačenost. Nasuprot tome, CVD proces osigurava razinu čistoće od 5 PPM i izvrsnu ujednačenost. Upotreba CVD TaC značajno poboljšava stopu iskorištenja pločica od silicij karbida. Pozdravljamo raspraveGrafitni trosegmentni prstenovi presvučeni TaC-om kako bi se dodatno smanjili troškovi SiC pločica.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCuz zajedničke napore odjela za istraživanje i razvoj. Defekti se lako mogu pojaviti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Dolje je usporedba pločica sa i bez TaC, kao i Simicera' dijelova za rast monokristala.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
