TaC premazje važan materijalni premaz, koji se obično priprema na bazi grafita tehnologijom metaloorganskog kemijskog taloženja iz pare (MOCVD). Ovaj premaz ima izvrsna svojstva, kao što su visoka tvrdoća, izvrsna otpornost na habanje, otpornost na visoke temperature i kemijsku stabilnost, te je prikladan za razne visoko zahtjevne inženjerske primjene.
MOCVD tehnologija je često korištena tehnologija rasta tankog filma koja taloži željeni složeni film na površinu supstrata reakcijom metalnih organskih prekursora s reaktivnim plinovima na visokim temperaturama. Prilikom pripremeTaC premaz, odabirom odgovarajućih metalnih organskih prekursora i izvora ugljika, kontroliranjem reakcijskih uvjeta i parametara taloženja, jednoličan i gust TaC film može se taložiti na grafitnu bazu.
Semicera nudi specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći postupak premazivanja omogućuje premazima tantal karbida (TaC) postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor presvučen grafitom) i produljenje životnog vijeka ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC prevlake od tantal karbida je za rješavanje problema rubova i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je otkrila tehnologiju prevlake tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodnu naprednu razinu.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCuz zajedničke napore odjela za istraživanje i razvoj. Defekti se lako mogu pojaviti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je usporedba pločica sa i bez TaC, kao i Simicera' dijelova za rast monokristala.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
