TaC Coated Plate je specijalizirani disk dizajniran za upotrebu u SiC epitaksijalnim procesima, izrađen s preciznošću od visokokvalitetnog grafitnog materijala. Njegova je površina pažljivo presvučena tantal karbidom (TaC), spojem poznatim po svojoj iznimnoj čistoći i čvrstoći. TaC premaz povećava trajnost ploče i otpornost na visoke temperature, što je čini idealnom za zahtjevne uvjete SiC epitaksijalnih procesa.
Ova inovativna ploča s TaC premazom je specijalizirani disk dizajniran za upotrebu u SiC epitaksijalnim procesima, izrađen s preciznošću od visokokvalitetnog grafitnog materijala. Površina ploče presvučene TaC-om pažljivo je presvučena tantal karbidom (TaC), spojem poznatim po svojoj iznimnoj čistoći i čvrstoći. služi kao pouzdana platforma za nošenje pločica tijekom različitih faza SiC epitaksijalnog rasta. Njegova grafitna baza visoke čistoće pruža stabilnu i inertnu površinu, dok TaC premaz dodaje dodatni sloj zaštite od kemijskih reakcija i trošenja.
SemićdobaTaC obložena ploča prilagođena je prema specifičnim zahtjevima kupaca, osiguravajući optimalne performanse i kompatibilnost s njihovim SiC epitaksijalnim sustavima. Bilo da se radi o veličini, obliku ili drugim specifikacijama, ove su ploče skrojene kako bi zadovoljile jedinstvene potrebe svake primjene.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
