Semicera nudi specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći postupak premazivanja omogućuje premazima tantal karbida (TaC) postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor presvučen grafitom) i produljenje životnog vijeka ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC prevlake od tantal karbida je za rješavanje problema rubova i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je otkrila tehnologiju prevlake tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodnu naprednu razinu.
Nosači pločica obloženih tantalovim karbidom naširoko se koriste u procesima obrade pločica i rukovanja u procesima proizvodnje poluvodiča. Pružaju stabilnu potporu i zaštitu kako bi se osigurala sigurnost, točnost i dosljednost pločica tijekom procesa proizvodnje. Premazi od tantal karbida mogu produžiti životni vijek nosača, smanjiti troškove i poboljšati kvalitetu i pouzdanost poluvodičkih proizvoda.
Opis nosača pločice obloženog tantal karbidom je sljedeći:
1. Odabir materijala: Tantalov karbid je materijal s izvrsnim performansama, visokom tvrdoćom, visokim talištem, otpornošću na koroziju i izvrsnim mehaničkim svojstvima, tako da se naširoko koristi u procesu proizvodnje poluvodiča.
2. Površinska prevlaka: Prevlaka od tantal karbida nanosi se na površinu nosača vafera posebnim postupkom oblaganja kako bi se formirala jednolika i gusta prevlaka od tantal karbida. Ovaj premaz može pružiti dodatnu zaštitu i otpornost na habanje, dok ima dobru toplinsku vodljivost.
3. Ravnost i preciznost: Nosač pločice presvučen tantalovim karbidom ima visok stupanj ravnosti i preciznosti, osiguravajući stabilnost i točnost pločica tijekom procesa proizvodnje. Ravnost i završna obrada površine nosača ključni su za osiguranje kvalitete i performansi pločice.
4. Temperaturna stabilnost: nosači pločica obloženih tantalovim karbidom mogu održati stabilnost u okruženjima visoke temperature bez deformacije ili labavljenja, osiguravajući stabilnost i konzistentnost pločica u procesima visoke temperature.
5. Otpornost na koroziju: Premazi od tantal karbida imaju izvrsnu otpornost na koroziju, mogu se oduprijeti eroziji kemikalija i otapala i štite nosač od korozije tekućine i plina.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
