Grafitni list obložen tantal karbidomje grafitni materijal s tankim slojemtantal karbidna površini podloge. Tanki sloj tantal karbida obično se formira na površini grafitne podloge tehnikama kao što je fizičko taloženje iz pare (PVD) ili kemijsko taloženje iz pare (CVD). Ovaj premaz ima izvrsna svojstva kao što su visoka tvrdoća, izvrsna otpornost na trošenje, otpornost na koroziju i stabilnost na visoke temperature.
Semicera nudi specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći postupak premazivanja omogućuje premazima tantal karbida (TaC) postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor presvučen grafitom) i produljenje životnog vijeka ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC prevlake od tantal karbida je za rješavanje problema rubova i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je otkrila tehnologiju prevlake tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodnu naprednu razinu.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCuz zajedničke napore odjela za istraživanje i razvoj. Defekti se lako mogu pojaviti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je usporedba pločica sa i bez TaC, kao i Simicera' dijelova za rast monokristala.
Glavne prednosti grafitne ploče presvučene tantal karbidom uključuju:
1. Otpornost na visoke temperature: tantalov karbid ima visoko talište i izvrsnu stabilnost na visokim temperaturama, što čini presvučenu grafitnu ploču prikladnom za upotrebu u okruženjima visoke temperature.
2. Otpornost na koroziju: Prevlaka od tantal karbida može se oduprijeti eroziji mnogih kemijskih korozivnih tvari i produžiti životni vijek materijala.
3. Visoka tvrdoća: Visoka tvrdoća tankog sloja tantal karbida pruža dobru otpornost na habanje i prikladna je za primjene koje zahtijevaju visoku otpornost na habanje.
4. Kemijska stabilnost: Prevlaka od tantal karbida ima izvrsnu stabilnost na kemijsku koroziju i prikladna je za upotrebu u nekim korozivnim medijima.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
