Ruka za rukovanje vaflimaje ključna oprema koja se koristi u procesu proizvodnje poluvodiča za rukovanje, prijenos i pozicioniranjenapolitanke. Obično se sastoji od robotske ruke, hvataljke i upravljačkog sustava, s mogućnostima preciznog kretanja i pozicioniranja.Ruke za rukovanje vaflimanaširoko se koriste u raznim vezama u proizvodnji poluvodiča, uključujući procesne korake kao što su punjenje pločice, čišćenje, taloženje tankog filma, jetkanje, litografija i inspekcija. Njegova preciznost, pouzdanost i mogućnosti automatizacije ključni su za osiguranje kvalitete, učinkovitosti i dosljednosti proizvodnog procesa.
Glavne funkcije ruke za rukovanje pločicama uključuju:
1. Prijenos pločica: Ruka za rukovanje pločicama može precizno prenijeti pločice s jedne lokacije na drugu, kao što je uzimanje pločica iz police za pohranu i njihovo stavljanje u uređaj za obradu.
2. Pozicioniranje i orijentacija: Ruka za rukovanje pločicama može točno pozicionirati i usmjeriti pločicu kako bi se osiguralo ispravno poravnanje i položaj za naknadne operacije obrade ili mjerenja.
3. Stezanje i otpuštanje: Ruke za rukovanje pločicama obično su opremljene hvataljkama koje mogu sigurno stegnuti pločice i otpustiti ih kada je potrebno kako bi se osigurao siguran prijenos i rukovanje pločicama.
4. Automatizirano upravljanje: Ruka za rukovanje pločicama opremljena je naprednim sustavom upravljanja koji može automatski izvršiti unaprijed određene radnje, poboljšati učinkovitost proizvodnje i smanjiti ljudske pogreške.
Karakteristike i prednosti
1. Precizne dimenzije i toplinska stabilnost.
2. Visoka specifična krutost i izvrsna toplinska ujednačenost, dugotrajna uporaba nije laka za savijanje deformacija.
3. Ima glatku površinu i dobru otpornost na habanje, stoga sigurno rukuje čipom bez kontaminacije česticama.
4. Otpor silicijevog karbida u 106-108Ω, nemagnetski, u skladu sa zahtjevima specifikacije protiv ESD-a; Može spriječiti nakupljanje statičkog elektriciteta na površini čipa.
5. Dobra toplinska vodljivost, nizak koeficijent širenja.
