Semicera s ponosom predstavljaGa2O3Podloga, vrhunski materijal spreman napraviti revoluciju u energetskoj elektronici i optoelektronici.Galijev oksid (Ga2O3) podlogesu poznati po svom ultra širokom pojasnom razmaku, što ih čini idealnim za uređaje velike snage i visoke frekvencije.
Ključne karakteristike:
• Ultra širok pojasni razmak: Ga2O3 nudi razmak između pojaseva od približno 4,8 eV, značajno poboljšavajući njegovu sposobnost da se nosi s visokim naponima i temperaturama u usporedbi s tradicionalnim materijalima poput silicija i GaN.
• Visoki probojni napon: S iznimnim probojnim poljem,Ga2O3Podlogaje savršen za uređaje koji zahtijevaju rad pod visokim naponom, osiguravajući veću učinkovitost i pouzdanost.
• Toplinska stabilnost: vrhunska toplinska stabilnost materijala čini ga prikladnim za primjenu u ekstremnim okruženjima, održavajući performanse čak i pod teškim uvjetima.
• Svestrane primjene: Idealno za korištenje u visokoučinkovitim tranzistorima snage, UV optoelektroničkim uređajima i više, pružajući robusnu osnovu za napredne elektroničke sustave.
Doživite budućnost tehnologije poluvodiča sa SemiceromGa2O3Podloga. Dizajniran kako bi zadovoljio rastuće zahtjeve elektronike velike snage i visokih frekvencija, ovaj supstrat postavlja nove standarde za performanse i izdržljivost. Vjerujte Semiceri da će isporučiti inovativna rješenja za vaše najzahtjevnije primjene.
| Predmeti | Proizvodnja | Istraživanje | lutka |
| Parametri kristala | |||
| Politip | 4H | ||
| Pogreška orijentacije površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-tip dušika | ||
| Otpornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanički parametri | |||
| Promjer | 150,0±0,2 mm | ||
| Debljina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orijentacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna duljina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarni stan | Nijedan | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Pramac | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Prednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gustoća mikrocijevi | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalne nečistoće | ≤5E10atoma/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Prednja kvaliteta | |||
| Ispred | Si | ||
| Površinska obrada | Si-face CMP | ||
| Čestice | ≤60ea/vafer (veličina≥0.3μm) | NA | |
| Ogrebotine | ≤5ea/mm. Kumulativna duljina ≤Promjer | Kumulativna duljina≤2*Promjer | NA |
| Narančina kora/rupice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija | Nijedan | NA | |
| Rubni čipovi/udubljenja/lomovi/šesterokutne ploče | Nijedan | ||
| Politipska područja | Nijedan | Kumulativna površina≤20% | Kumulativno područje≤30% |
| Prednje lasersko označavanje | Nijedan | ||
| Kvaliteta leđa | |||
| Zadnji završetak | C-lice CMP | ||
| Ogrebotine | ≤5ea/mm, Kumulativna duljina≤2*Promjer | NA | |
| Stražnji nedostaci (odlomljeni rubovi/udubljenja) | Nijedan | ||
| Hrapavost leđa | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Stražnje lasersko označavanje | 1 mm (od gornjeg ruba) | ||
| Rub | |||
| Rub | Iskošenje | ||
| Pakiranje | |||
| Pakiranje | Epi-ready s vakuumskim pakiranjem Pakiranje kazeta s više pločica | ||
| *Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD. | |||
