Kao jedna od temeljnih komponentiMOCVD oprema, grafitna baza je nositelj i grijaće tijelo podloge, što izravno određuje ujednačenost i čistoću filmskog materijala, pa njegova kvaliteta izravno utječe na pripremu epitaksijalne ploče, a ujedno, s povećanjem broja slojeva, povećava se broj slojeva materijala koji se ugrađuju. upotrebe i promjene uvjeta rada, vrlo je jednostavan za nošenje, spada u potrošni materijal.
Iako grafit ima izvrsnu toplinsku vodljivost i stabilnost, ima dobru prednost kao osnovna komponentaMOCVD oprema, ali u proizvodnom procesu grafit će nagrizati prah zbog ostataka korozivnih plinova i metalnih organskih tvari, a radni vijek grafitne baze bit će znatno smanjen.U isto vrijeme, padajući grafitni prah će uzrokovati onečišćenje čipa.
Pojava tehnologije premaza može osigurati površinsku fiksaciju praha, povećati toplinsku vodljivost i ujednačiti raspodjelu topline, što je postala glavna tehnologija za rješavanje ovog problema.Grafitna baza uMOCVD opremaokolini uporabe, grafitni osnovni površinski premaz treba zadovoljiti sljedeće karakteristike:
(1) Grafitna baza može se u potpunosti omotati, a gustoća je dobra, inače je grafitnu bazu lako korodirati u korozivnom plinu.
(2) Snaga kombinacije s grafitnom bazom je visoka kako bi se osiguralo da premaz nije lako otpasti nakon nekoliko ciklusa visokih i niskih temperatura.
(3) Ima dobru kemijsku stabilnost kako bi se izbjeglo oštećenje premaza na visokoj temperaturi i korozivnoj atmosferi.
SiC ima prednosti otpornosti na koroziju, visoke toplinske vodljivosti, otpornosti na toplinske udare i visoke kemijske stabilnosti te može dobro raditi u epitaksijalnoj atmosferi GaN.Osim toga, koeficijent toplinske ekspanzije SiC vrlo se malo razlikuje od koeficijenta grafita, tako da je SiC poželjan materijal za površinsku prevlaku grafitne baze.
Trenutačno je uobičajeni SiC uglavnom 3C, 4H i 6H tip, a različite vrste kristala koriste se različito.Na primjer, 4H-SiC može proizvoditi uređaje velike snage;6H-SiC je najstabilniji i može proizvoditi fotoelektrične uređaje;Zbog svoje strukture slične GaN, 3C-SiC se može koristiti za proizvodnju GaN epitaksijalnog sloja i proizvodnju SiC-GaN RF uređaja.3C-SiC je također poznat kaoβ-SiC, i važna upotrebaβ-SiC je kao film i materijal za oblaganje, dakleβ-SiC je trenutno glavni materijal za premazivanje.
Vrijeme objave: 6. studenog 2023