Semicera jeSiC lopaticeprojektirani su za minimalno toplinsko širenje, pružajući stabilnost i preciznost u procesima gdje je točnost dimenzija kritična. To ih čini idealnim za primjene gdjenapolitankepodvrgnuti su ponovljenim ciklusima grijanja i hlađenja, budući da oblatna ploča održava svoj strukturni integritet, osiguravajući dosljednu izvedbu.
Uključujući Semicera'sdifuzijske lopatice od silicij karbidau vašu proizvodnu liniju poboljšat će pouzdanost vašeg procesa, zahvaljujući svojim vrhunskim toplinskim i kemijskim svojstvima. Ove lopatice savršene su za procese difuzije, oksidacije i žarenja, osiguravajući da se pločicama rukuje pažljivo i precizno tijekom svakog koraka.
Inovacija je srž SemicereSiC veslodizajn. Ove lopatice su skrojene tako da se neprimjetno uklapaju u postojeću poluvodičku opremu, pružajući poboljšanu učinkovitost rukovanja. Lagana struktura i ergonomski dizajn ne samo da poboljšavaju transport pločica, već i smanjuju zastoje u radu, što rezultira pojednostavljenom proizvodnjom.
| Fizikalna svojstva rekristaliziranog silicijevog karbida | |
| Vlasništvo | Tipična vrijednost |
| Radna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (reducirajuće okruženje) |
| sadržaj SiC | > 99,96% |
| Besplatni Si sadržaj | < 0,1% |
| Nasipna gustoća | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Prividna poroznost | < 16% |
| Čvrstoća na pritisak | > 600 MPa |
| Čvrstoća na hladno savijanje | 80-90 MPa (20°C) |
| Vruća čvrstoća na savijanje | 90-100 MPa (1400°C) |
| Toplinska ekspanzija @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Toplinska vodljivost @1200°C | 23 W/m•K |
| Modul elastičnosti | 240 GPa |
| Otpornost na toplinski udar | Izuzetno dobro |
