SOI napolitanke

Kratki opis:

SOI pločica je struktura poput sendviča s tri sloja;Uključujući gornji sloj (sloj uređaja), sredinu sloja ukopanog kisika (za izolacijski sloj SiO2) i donji supstrat (rasuti silicij).SOI waferi se proizvode SIMOX metodom i tehnologijom wafer bondinga, koja omogućuje tanje i preciznije slojeve uređaja, ujednačenu debljinu i nisku gustoću defekata.

Pošaljite nam e-poštu

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

SOI vafli (1)

Polje primjene

1. Integrirani sklop velike brzine

2. Mikrovalni uređaji

3. Visokotemperaturni integrirani krug

4. Uređaji za napajanje

5. Integrirani krug male snage

6. MEMS

7. Niskonaponski integrirani krug

Artikal		Argument
Sve u svemu	Promjer oblatne 晶圆尺寸 (mm)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	Luk/Osnova 翘曲度(	<10um
	Čestice 颗粒度(	0,3 um<30ea
	Stanovi/urez 定位边/定位槽	Flat ili Notch
	Isključivanje rubova 边缘去除 (mm)	/
Sloj uređaja 器件层	Vrsta sloja uređaja/Dopant 器件层掺杂类型	N-Tip/P-Tip B/ P/ Sb / As
	Orijentacija sloja uređaja 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Debljina sloja uređaja 器件层厚度(um)	0,1 ~ 300 um
	Otpornost sloja uređaja 器件层电阻率 (ohm•cm)	0,001~100 000 ohm-cm
	Čestice sloja uređaja 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	Sloj uređaja TTV 器件层TTV(	<10um
	Završetak sloja uređaja 器件层表面处理	Poliran
KUTIJA	Debljina ukopanog toplinskog oksida 埋氧层厚度(um)	50nm(500Å)~15um
Sloj ručke 衬底	Ručka Wafer Type/Dopant 衬底层类型	N-Tip/P-Tip B/ P/ Sb / As
	Orijentacija oblatne ručke 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Ručka otpornost pločice 衬底电阻率 (ohm•cm)	0,001~100 000 ohm-cm
	Debljina oblatne ručke 衬底厚度(um)	>100um
	Ručka Wafer Finish 衬底表面处理	Poliran
SOI pločice ciljanih specifikacija mogu se prilagoditi prema zahtjevima kupaca.