Opis
Grafitni prijemnici Semicera obloženi SiC-om izrađeni su korištenjem visokokvalitetnih grafitnih supstrata, koji su pažljivo obloženi silicijevim karbidom (SiC) kroz napredne procese kemijskog taloženja parom (CVD). Ovaj inovativni dizajn osigurava iznimnu otpornost na toplinski udar i kemijsku degradaciju, značajno produžujući životni vijek grafitnog prijemnika obloženog SiC-om i jamčeći pouzdanu izvedbu tijekom cijelog procesa proizvodnje poluvodiča.
Ključne karakteristike:
1. Vrhunska toplinska vodljivostGrafitni susceptor presvučen SiC-om pokazuje izvanrednu toplinsku vodljivost, što je ključno za učinkovito odvođenje topline tijekom proizvodnje poluvodiča. Ova značajka minimizira toplinske gradijente na površini ploče, promičući ravnomjernu raspodjelu temperature koja je neophodna za postizanje željenih svojstava poluvodiča.
2. Robusna otpornost na kemijski i toplinski udarSiC premaz pruža izvrsnu zaštitu od kemijske korozije i toplinskog udara, održavajući cjelovitost grafitnog prijemnika čak iu teškim uvjetima obrade. Ova poboljšana izdržljivost smanjuje vrijeme zastoja i produljuje životni vijek, pridonoseći povećanju produktivnosti i isplativosti u pogonima za proizvodnju poluvodiča.
3. Prilagodba za posebne potrebeNaši grafitni prijemnici obloženi SiC-om mogu se prilagoditi specifičnim zahtjevima i preferencijama. Nudimo niz mogućnosti prilagodbe, uključujući prilagodbe veličine i varijacije u debljini premaza, kako bismo osigurali fleksibilnost dizajna i optimizirane performanse za različite primjene i procesne parametre.
Primjene:
PrimjeneSemicera SiC premazi koriste se u različitim fazama proizvodnje poluvodiča, uključujući:
1. -Izrada LED čipa
2. -Proizvodnja polisilicija
3. -Rast kristala poluvodiča
4. -Silicij i SiC epitaksija
5. - Toplinska oksidacija i difuzija (TO&D)
Tehničke specifikacije:
