TaC presvučeni grafitnim vodećim prstenovimaodnose se na taloženje tankog slojatantal karbidna površini grafitnog prstena za vođenje radi poboljšanja njegove otpornosti na trošenje, otpornosti na visoke temperature i kemijske stabilnosti. Ova prevlaka se obično formira na površini grafitnog prstena za vođenje tehnikama kao što je fizičko taloženje iz pare (PVD) ili kemijsko taloženje iz pare (CVD).
Semicera nudi specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći postupak premazivanja omogućuje premazima tantal karbida (TaC) postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor presvučen grafitom) i produljenje životnog vijeka ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC prevlake od tantal karbida je za rješavanje problema rubova i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je otkrila tehnologiju prevlake tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodnu naprednu razinu.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCuz zajedničke napore odjela za istraživanje i razvoj. Defekti se lako mogu pojaviti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Dolje je usporedba pločica sa i bez TaC, kao i Simicera' dijelova za rast monokristala.
Glavne karakteristike grafitnih vodilica presvučenih TaC uključuju:
1. Otpornost na visoke temperature: TaC premaz ima izvrsnu stabilnost na visokim temperaturama i može održati stabilnost u okruženjima s visokim temperaturama.
2. Otpornost na habanje: Visoka tvrdoća tankog sloja tantal karbida daje prstenu za vođenje dobru otpornost na habanje i produljuje njegov vijek trajanja.
3. Kemijska stabilnost: TaC premaz ima visoku stabilnost protiv kemijske korozije, što ga čini prikladnim za primjenu u nekim korozivnim medijima.
4. Smanjite trenje: TaC premaz može učinkovito smanjiti trenje između grafitnog prstena za vođenje i drugih komponenti i poboljšati učinkovitost mehaničkih brtvila.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
