Uvod u CVD TaC premaz:
CVD TaC premaz je tehnologija koja koristi kemijsko taloženje iz pare za nanošenje tantal karbida (TaC) premaza na površinu podloge. Tantalov karbid je keramički materijal visokih performansi s izvrsnim mehaničkim i kemijskim svojstvima. CVD proces stvara jednoličan TaC film na površini supstrata kroz plinsku reakciju.
Glavne značajke:
Izvrsna tvrdoća i otpornost na habanje: Tantal karbid ima izuzetno visoku tvrdoću, a CVD TaC premaz može značajno poboljšati otpornost podloge na trošenje. To čini premaz idealnim za primjenu u okruženjima s visokim habanjem, kao što su alati za rezanje i kalupi.
Stabilnost na visoke temperature: TaC premazi štite kritične komponente peći i reaktora na temperaturama do 2200°C, pokazujući dobru stabilnost. Održava kemijsku i mehaničku stabilnost u ekstremnim temperaturnim uvjetima, što ga čini prikladnim za obradu na visokim temperaturama i primjenu u okruženjima s visokim temperaturama.
Izvrsna kemijska stabilnost: Tantal karbid ima jaku otpornost na koroziju na većinu kiselina i lužina, a CVD TaC premaz može učinkovito spriječiti oštećenje podloge u korozivnim okruženjima.
Visoko talište: Tantal karbid ima visoko talište (približno 3880°C), što omogućuje upotrebu CVD TaC premaza u uvjetima ekstremno visoke temperature bez taljenja ili razgradnje.
Izvrsna toplinska vodljivost: TaC premaz ima visoku toplinsku vodljivost, što pomaže u učinkovitom odvođenju topline u visokotemperaturnim procesima i sprječava lokalno pregrijavanje.
Potencijalne primjene:
• Komponente epitaksijalnog CVD reaktora od galij nitrida (GaN) i silicij karbida uključujući nosače pločica, satelitske antene, tuševe, stropove i susceptore
• Komponente za rast kristala od silicijevog karbida, galijevog nitrida i aluminijevog nitrida (AlN), uključujući lončiće, držače klica, prstenove za vođenje i filtre
• Industrijske komponente uključujući otporne grijaće elemente, mlaznice za ubrizgavanje, maskirne prstenove i šablone za lemljenje
Značajke aplikacije:
• Temperaturno stabilan iznad 2000°C, što omogućuje rad na ekstremnim temperaturama
• Otporan na vodik (Hz), amonijak (NH3), monosilan (SiH4) i silicij (Si), pružajući zaštitu u teškim kemijskim okruženjima
• Njegova otpornost na toplinske udare omogućuje brže radne cikluse
• Grafit ima jaku adheziju, osiguravajući dug radni vijek i bez raslojavanja premaza.
• Ultra-visoka čistoća za uklanjanje nepotrebnih nečistoća ili kontaminanata
• Konformna pokrivenost premazom do malih dimenzijskih tolerancija
Tehničke specifikacije:
Priprema gustih prevlaka tantal karbida CVD:
TAC premaz visoke kristalnosti i izvrsne ujednačenosti:
Tehnički parametri CVD TAC COATING_Semicera:
Gore navedene su tipične vrijednosti.
