SemiceraTaC Coating Chuck, vrhunska vakuumska stezna glava opremljena saTaC premazi, posebno dizajniran za poluvodičke peći. Projektirana kako bi ispunila stroge zahtjeve modernih procesa proizvodnje poluvodiča, ova inovativna tehnologija postavlja novi standard za preciznost, pouzdanost i dugovječnost.
U središtu proizvodnje poluvodiča leži kritična potreba za preciznom kontrolom i stabilnošću tijekom obrade. TaC Coating Chuck rješava ovu potrebu integracijom naprednihTaC (tantal karbid) premazina njegovu površinu, osiguravajući izuzetnu toplinsku stabilnost, trajnost i otpornost na kemijsku koroziju. Ova jedinstvena kombinacija materijala ne samo da poboljšava performanse stezne glave, već i produljuje njen životni vijek, pružajući dosljedne rezultate tijekom bezbrojnih ciklusa.
Jedna od ključnih prednosti TaC Coating Chuck je njegova sposobnost održavanja visoke razine integriteta vakuuma tijekom cijelog ciklusa obrade. Učinkovitim smanjivanjem ispuštanja plinova i kontaminacije, ova tehnologija osigurava čistoću i kvalitetu poluvodičkih materijala, što rezultira vrhunskom izvedbom i pouzdanošću uređaja.
Štoviše, TaC Coating Chuck nudi neusporedivu svestranost, prilagođavajući širok raspon poluvodičkih podloga različitih veličina i geometrija. Prilagodljiv dizajn TaC Coating Chuck omogućuje besprijekornu integraciju u postojeće poluvodičke sustave peći, smanjujući vrijeme zastoja i povećavajući produktivnost.
Uz TaC Coating Chuck, proizvođači poluvodiča mogu postići veću propusnost, poboljšani prinos i smanjene ukupne troškove. Bilo da se radi o istraživačkim laboratorijima ili proizvodnim pogonima velike količine, ova napredna tehnologija omogućuje stručnjacima za poluvodiče da pomiču granice inovacija uz održavanje strogih standarda kvalitete.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
