Nosiva ploča presvučena tantal karbidomje suceptor ili potporna struktura koja je prekrivena tankim slojemtantal karbid. Ova prevlaka se može formirati na površini suceptora tehnikama kao što je fizičko taloženje iz pare (PVD) ili kemijsko taloženje iz pare (CVD), dajući suceptoru vrhunska svojstvatantal karbid.
Semicera nudi specijalizirane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći postupak premazivanja omogućuje premazima tantal karbida (TaC) postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor presvučen grafitom) i produljenje životnog vijeka ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC prevlake od tantal karbida je za rješavanje problema rubova i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je otkrila tehnologiju prevlake tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodnu naprednu razinu.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCuz zajedničke napore odjela za istraživanje i razvoj. Defekti se lako mogu pojaviti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je usporedba pločica sa i bez TaC, kao i Simicera' dijelova za rast monokristala.
Glavne značajke osnovnih potpornih ploča presvučenih tantal karbidom uključuju:
1. Stabilnost na visokim temperaturama: Tantal karbid ima izvrsnu stabilnost na visokim temperaturama, što čini presvučenu osnovnu potpornu ploču prikladnom za potrebe podrške u radnim okruženjima s visokim temperaturama.
2. Otpornost na koroziju: Prevlaka od tantal karbida ima dobru otpornost na koroziju, može se oduprijeti kemijskoj koroziji i oksidaciji i produžiti radni vijek baze.
3. Visoka tvrdoća i otpornost na habanje: Visoka tvrdoća premaza od tantal karbida daje osnovnoj potpornoj ploči dobru otpornost na habanje, što je prikladno za prilike koje zahtijevaju visoku otpornost na habanje.
4. Kemijska stabilnost: Tantalov karbid ima visoku stabilnost na razne kemijske tvari, zbog čega presvučena osnovna potporna ploča dobro funkcionira u nekim korozivnim okruženjima.
sa i bez TaC
Nakon korištenja TaC (desno)
Štoviše, Semicera'sProizvodi presvučeni TaC-ompokazuju dulji vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u usporedbi sSiC prevlake.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našTaC premazimože dosljedno raditi na temperaturama do 2300 stupnjeva Celzijusa tijekom duljeg razdoblja. Ispod je nekoliko primjera naših uzoraka:
